一，噴氦法
被檢件與氦質(zhì)譜檢漏儀相連，用檢漏儀的真空系統(tǒng)對(duì)被檢件的腔體抽真空，在被檢件外噴氦氣，若有漏孔，氦氣通過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀被檢測(cè)而顯示有漏。由于檢漏儀的響應(yīng)很快（一般短于3秒），在漏率顯示突然增高的一刻的噴氦位置就是漏孔的位置。
大容積試件的抽空檢漏
被檢試件的容積較小時(shí)，可以直接連到檢漏儀，抽空檢漏。但是當(dāng)試件容積太大（100立升以上）時(shí)，由于表面積大，放氣多，也可能有大漏，單靠檢漏儀自身的排氣系統(tǒng)，可能長(zhǎng)時(shí)間抽不到可以轉(zhuǎn)入檢漏的真空。這種情況，常外接一輔助真空系統(tǒng)。
二，背壓法
所謂背壓法，是指被檢試件充滿氦氣，或以某種方式注入氦氣，然后放入一個(gè)與檢漏儀相連，可抽空的真空箱內(nèi)，試件若有泄漏，漏出的氦氣直接進(jìn)入檢漏儀，而被檢測(cè)。被壓法檢測(cè)的是總漏率，它不能確定漏孔位置。
三，吸入法
被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦，檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸槍的氣體采集器。當(dāng)試件有漏時(shí)，泄漏的氦氣被吸槍吸入檢漏儀，而被檢測(cè)。吸槍在試件表面移動(dòng)，同時(shí)注視檢漏儀漏率指示的變化，一旦泄漏增加，吸槍所指位置即漏點(diǎn)所在。因此吸槍法也是能確定漏孔的檢漏方法。
四，真空箱法
真空箱用不銹鋼制作，內(nèi)表面有高的光潔度，可減少氦吸附。真空箱檢漏法特別試用于被檢試件內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜、放氣量大、試件批量大、漏率要求嚴(yán)格和檢漏節(jié)拍快等場(chǎng)合（如制冷壓縮機(jī)、閥、歧管等）,是工業(yè)規(guī)模生產(chǎn)最常用的檢漏方法。
